靶材金属化方法及流程介绍

靶材金属化是溅射靶材成型前的一个重要流程。其关系到靶材与背板的完整牢固结合。是防止溅射过程掉靶的重要工艺。那么应该如何做到靶材和背板金属化呢？下面由科进超声波设备厂来介绍一下靶材和背板的金属化方法和过程。

常见的金属化材料是铟，它具有较高的热导率，相对较低的熔点和弹性模量，可以降低粘合后的残余应力。它的低熔点也简化了绑定的返工，并允许背板重复使用。绑定过程可以在空气中进行，降低了绑定成本。但由于铟金属不易渗透铜背板和靶材内部，容易掉靶，这就要用超声波将金属铟渗透背板和靶材内部。这个是近年来常用的高效低成本的方法。

靶材及背板金属化过程如下：

1.金属化前，靶材和背板表面需要预处理（清理上面的杂物和灰尘）；

2.将靶材和背板放在加温焊接台上，升温至焊接温度（一般180度）；

3.将铟涂在靶材和背板上，先用刮刀将液态铟打撒，再用超声波上铟；

4.超声波工具头在靶材和背板上来回走动几遍；

5.用刮刀将在靶材和背板上的多余的铟刮到外面；

6.发现有没有渗透铟的地方再用超声波来回震一下即可；

7.将靶材和背板有铟的面合在一起，靶材上面加压块；

8.冷却和后处理靶材周边溢出的铟即可完成金属化和绑定的工艺。

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